URE-2000/25型单面紫外光刻机

台式光刻机

型号：URE-2000/25

（标准教学型）

简单介绍：光刻机：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光机, 该型号光刻机创新采用采用双目双视场显微镜对准；球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。整机具有性能可靠、操作方便等特点。

一．技术特征

1、采用标准技术的多点梯形反射镜聚光和实现均匀照明，具有高的能量收集率和高均匀性照明性；

2、采用进口直流高压汞灯，光功率稳定；

3、采用i线（365nm)紫外曝光光源，波长单一，光谱纯净；

4、高倍率双目双视场CCD显微镜和22英寸宽屏液晶，可同时观察对准过程，适用大视场高倍率对准；

5、采用薄膜开关操作，数字设定曝光时间，**数显，曝光量可精确控制；

6、配置无油真空泵，无污染，噪音小；

7、关键器件采用进口技术配置产品，整机可靠性高。

二．技术参数

1、曝光面积：120mm×120mm

2、曝光波长：365nm（纯净光源）

2、分辨力：　1.5μm

3、对准精度：：± 1μm

4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm Z：6mm

5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸

6、直径Ф15mm--Ф120mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；

7、照明均匀性：±5%

9、掩模相对于样片运动行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞灯功率：200W（直流、德国欧司朗） 或（直流、日本USHIO）

11、曝光量设定：定时曝光 定时（到计时方式 0.1s-9999.9s任意设定、设定精度0.1s）

12、双目双视场显微镜：物镜三队：4X、10X、20X，目镜三对：10X、16X、20X

13、放大倍数，光学400X,电子800X

应用领域

集成电路芯片、电子封装、微电子机械系统、微光学元件、红外探测器生物电泳芯片、激光二极管光刻、光栅光刻，波导阵列光刻、液晶显示声表器件、平板显示器、大尺寸光栅、码盘刻划等